https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/458| Title: | Зондовый автоматический технологический контроль микро-, нано- и свч-структур на пластине |
| Authors: | Минченко, В. А. Ковальчук, Г. Ф. Школык, С. Б. Зайцев, В. А. З |
| Keywords: | зондовый СВЧ-контроль;полупроводниковая пластина;материалы конференций |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Минченко, В. А. Зондовый автоматический технологический контроль микро-, нано- и свч-структур на пластине // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014.-C. 91-92 |
| Abstract: | Рассмотрены проблемы и указаны пути их решения при зондовом контроле БИС (до 0,3нс)и СВЧ-полупроводниковых структур на пластине. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/458 |
| ISBN: | 978-985-543-038-5 |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника» |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| зондовый.pdf | 415.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.