Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907
Title: Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем
Authors: Лыньков, Л. М.
Жданович, С. В.
Петров, Н. П.
Богуш, В. А.
Keywords: публикации ученых;сверхпроводниковые интегральные микросхемы;высокотемпературные сверхпроводники
Issue Date: 1996
Publisher: БГУИР
Citation: Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем / Л. М. Лыньков [и др.] // // Современные технологии гибридных интегральных микросхем включая элементы сверхпроводниковой электроники : IV Международная научно-техническая конференция, Нарочь, 23-27 сентября 1996 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. М. Лыньков. – Нарочь, 1996. – С. 178–181.
Abstract: Анодный и термический Zr02 являются весьма перспективными материалами в технологии микроэлектроники, в частности крио-ИМС. Их применение позволяет создавать воспроизводимые по параметрам сверхпроводниковые микроструктуры, субмикронные элементы, что позволяет решить сложные технологические задачи микроэлектроники и создать качественно новые микроэлектронные структуры.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Lynkov_Primeneniye.pdf119.74 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.