Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46968
Title: Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением
Authors: Зырянова, А. С.
Keywords: авторефераты диссертаций;тонкие пленки;диоксид гафния;ионно-лучевое распыление
Issue Date: 2022
Publisher: БГУИР
Citation: Зырянова, А. С. Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / А. С. Зырянова ; науч. рук. А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2022. – 11 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46968
Appears in Collections:1-39 80 03 Электронные системы и технологии

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Ziryanova_Tonkie.pdf451.12 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.