Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158
Title: Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS
Other Titles: Use of ion etching of metal to improve the adhesion of DLC-coatings obtained by HiPIMS method
Authors: Пигаль, Р. В.
Боровиков, С. М.
Лагуцкий, И. А.
Терещук, О. И.
Keywords: публикации ученых;алмазоподобные покрытия;тонкоплёночные технологии;импульсное магнетронное распыление;diamond-like coating (DLC);thin-film technologies;pulsed magnetron sputtering
Issue Date: 2022
Publisher: Интернаука
Citation: Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS / Пигаль Р. В. [и др.] // Интернаука. – №11(234), ч. 2. - 2022. – С. 60 – 64.
Abstract: Целью работы являлась оценка влияния предварительного травления стальной подложки на адгезию алмазоподобного покрытия (DLC-покрытия). Исследовалась морфология и микроструктура образцов по фотографиям, получаемым с помощью сканирующего электронного микроскопа. Установлено, что методы магнетронного распыления импульсами высокой мощности (англоязычное сокращение HiPIMS) с предварительным травлением материалами Cr (хром) и Ti (титан) при отрицательном смещением на подложке показывают лучшие результаты, нежели травление ионами Ar (аргон).
Alternative abstract: The aim of this work was to evaluate the effect of pre-etching of a steel substrate on the adhesion of a diamond-like coating (DLC-coating). The morphology and microstructure of the samples were studied using photographs taken with a scanning electron microscope. It has been established that the methods of magnetron sputtering with high-power pulses (abbreviated in English as HiPIMS) with preliminary etching with Cr (chromium) and Ti (titanium) materials with a negative bias on the substrate show better results than etching with Ar (argon) ions.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pigal_Ispolzovaniye.pdf567.86 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.