https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158
Title: | Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS |
Other Titles: | Use of ion etching of metal to improve the adhesion of DLC-coatings obtained by HiPIMS method |
Authors: | Пигаль, Р. В. Боровиков, С. М. Лагуцкий, И. А. Терещук, О. И. |
Keywords: | публикации ученых;алмазоподобные покрытия;тонкоплёночные технологии;импульсное магнетронное распыление;diamond-like coating (DLC);thin-film technologies;pulsed magnetron sputtering |
Issue Date: | 2022 |
Publisher: | Интернаука |
Citation: | Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS / Пигаль Р. В. [и др.] // Интернаука. – №11(234), ч. 2. - 2022. – С. 60 – 64. |
Abstract: | Целью работы являлась оценка влияния предварительного травления стальной подложки на адгезию алмазоподобного покрытия (DLC-покрытия). Исследовалась морфология и микроструктура образцов по фотографиям, получаемым с помощью сканирующего электронного микроскопа. Установлено, что методы магнетронного распыления импульсами высокой мощности (англоязычное сокращение HiPIMS) с предварительным травлением материалами Cr (хром) и Ti (титан) при отрицательном смещением на подложке показывают лучшие результаты, нежели травление ионами Ar (аргон). |
Alternative abstract: | The aim of this work was to evaluate the effect of pre-etching of a steel substrate on the adhesion of a diamond-like coating (DLC-coating). The morphology and microstructure of the samples were studied using photographs taken with a scanning electron microscope. It has been established that the methods of magnetron sputtering with high-power pulses (abbreviated in English as HiPIMS) with preliminary etching with Cr (chromium) and Ti (titanium) materials with a negative bias on the substrate show better results than etching with Ar (argon) ions. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Pigal_Ispolzovaniye.pdf | 567.86 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.