https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48036| Title: | Моделирование процесса очистки водорода |
| Authors: | Поляков, Н. С. |
| Keywords: | материалы конференций;гидрогазовая очистка водорода;очистка водорода;кремниевые пластины;электронные приборы |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Поляков, Н. С. Моделирование процесса очистки водорода / Поляков Н. С. // Информационные системы и технологии : сборник тезисов докладов 58-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 18–22 апреля 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Институт информационных технологий ; редкол.: Маковский М. Л. [и др.]. – Минск, 2022. – С. 59. |
| Abstract: | Работа содержит описание установки по гидрогазовой очистки водорода, использующегося для наращивания эпитаксиальных слоёв кремниевых пластин при производстве электронных приборов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48036 |
| Appears in Collections: | Информационные системы и технологии : 58-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов (2022) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Polyakov_Modelirovaniye.pdf | 433.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.