https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48203| Title: | Стабильность тонких плёнок диоксида гафния |
| Authors: | Карженевская, В. Ю. Алексеев, А. Ю. |
| Keywords: | материалы конференций;тонкие пленки;диэлектрики |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Карженевская, В. Ю. Стабильность тонких плёнок диоксида гафния / Карженевская В. Ю., Алексеев А. Ю. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 58-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2022 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2022. – С. 37–38. |
| Abstract: | В ходе работы исследовались тонкие плёнки диоксида гафния (HfO2) с толщиной до 30 Å, имеющие различные фазы и кристаллографические ориентации. Расчёты производились с целью выявления наиболее стабильной из фаз. Определили, что при толщинах плёнки менее 20 Å наименьшей полной энергией обладают пленки с кубической структурой, а при больших толщинах – с моноклинной структурой. 2D HfO2 с кубической структурой также являются динамически стабильными. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48203 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 58-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2022) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Karzhenevskaya_Stabilnost.pdf | 432.32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.