| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Жигулин, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.coverage.spatial | Санкт-Петербург | - |
| dc.date.accessioned | 2022-12-01T12:47:04Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-01T12:47:04Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока / А. Н. Петлицкий, Д. А. Жигулин, В. Л. Ланин // Технологии в электронной промышленности. – 2022. – № 2. – С. 58–61. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49248 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрена методика выявления отказов элементов интегральных схем растровой
электронной микроскопией в режиме наведенного тока EBIC. Данный метод является
основой экспресс-контроля работоспособности ИС и отдельных интегральных элементов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО «Медиа КиТ» | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | экспресс-контроль | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | растровая электронная микроскопия | ru_RU |
| dc.title | Экспресс-контроль элементов интегральных микросхем с использованием растровой электронной микроскопии и режима наведенного тока | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
