https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49542
Title: | Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния |
Authors: | Чубенко, Е. Б. Гревцов, Н. Л. Бондаренко, В. П. Гаврилин, И. М. Павликов, А. В. Дронов, А. А. Волкова, Л. С. Гаврилов, С. А. |
Keywords: | публикации ученых;пористый кремний;спектроскопия комбинационного рассеяния света;электрохимическое осаждение |
Issue Date: | 2022 |
Publisher: | Институт физики им. Б.И. Степанова НАН Беларуси |
Citation: | Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремния / Е. Б. Чубенко [и др.] // Журнал прикладной спектроскопии. – 2022. – Т. 89, No 5. – C. 614-620. – DOI : 10.47612/0514-7506-2022-89-5-614-620. |
Abstract: | Исследованы закономерности изменения состава тонких пленок сплава кремний/германий, сформированного на подложке монокристаллического кремния методом электрохимического осаждения германия в матрицу пористого кремния с последующим быстрым термическим отжигом (БТО) при температуре 750—950 °С. Анализ образцов методом спектроскопии комбинационного рассеяния света показал, что увеличение температуры БТО приводит к уменьшению концентрации германия в формируемом слое. Уменьшение продолжительности БТО при заданной температуре позволяет получить пленки с большей концентрацией германия и контролировать состав формируемых тонких пленок сплава кремний/германий путем изменения температуры и продолжительности БТО. Полученные результаты по управлению составом пленок сплава кремний-германий могут быть использованы при создании устройств функциональной электроники, термоэлектрических преобразователей энергии и оптоэлектронных приборов. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49542 |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
+Chubenko_Spektry.pdf | 682.3 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.