https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49684| Title: | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния |
| Other Titles: | Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater |
| Authors: | Таратын, И. А. Горох, Г. Г. Лозовенко, А. А. Кевра, Е. В. |
| Keywords: | публикации ученых;монокристаллический нагреватель;полупроводниковый газовый сенсор;вольтамперные характеристики |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | БНТУ |
| Citation: | Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из монокристаллического кремния = Semiconductor gas sensor with monocrystal silicon heater / И. А. Таратын [и др.] // Приборостроение — 2022 : материалы 15-ой Международной научно-технической конференции, Минск,16–18 ноября 2022 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск : БНТУ, 2022. – С. 461-462. |
| Abstract: | Представлены результаты исследований полупроводникового газового сенсора с нагревателем кремниевого нагревателя. Максимальное значение химического отклика на воздушную смесь с содержанием 0,49 об% CH4 получено при мощности нагревателя 108.12-111.47 мВт. |
| Alternative abstract: | The results of studies of a semiconductor gas sensor with a silicon heater made of single-crystal silicon are presented. The current-voltage and temperature dependences of the silicon heater are given. The maximum value of the chemical response to 0.49 vol% CH4 was obtained at a heater power of 108.12-111.47 mW. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/49684 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Taratin_Poluprovodnikovii.pdf | 190.9 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.