Устройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении

Лабунов, В. А.; Сокол, В. А.; Маев, А. А.; Радионов, А. А.; Еремин, А. П.; Гусев, А. Ф.; Чмель, Е. А.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50659

Title:	Устройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении
Other Titles:	А. с. 1124258 А СССР
Authors:	Лабунов, В. А. Сокол, В. А. Маев, А. А. Радионов, А. А. Еремин, А. П. Гусев, А. Ф. Чмель, Е. А.
Keywords:	патенты;микроэлектроника;тонкие пленки
Issue Date:	1984
Publisher:	Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий
Citation:	Устройство для контроля и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении : а. с. 1124258 А СССР : МПК G 05 B 23/02, G 01 R 33/12 / Лабунов В. А., Сокол В. А., Маев А. А., Радионов А. А., Еремин А. П., Гусев А. Ф., Чмель Е. А. ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 3629091/24-24 ; заявл. 27.07.1983 ; опубл. 15.11.1984. – 11 с.
Abstract:	Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к устройствам для контроля и управления скоростью осаждения и управления скоростью осаждения и толщиной тонких пленок при напылении.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50659
Appears in Collections:	Изобретения

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Pat_1124258.pdf		608.35 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar