https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5081| Title: | Увеличение механического импульса в микроэлектромеханических системах, использующих энергию горения нанопористого кремния |
| Other Titles: | Mechanical impulse enhancement in MEMS using porous silicon combustion process |
| Authors: | Долбик, А. В. Зубов, А. Ю. Крисевич, С. Н. Сычевич, А. С. Короткевич, А. В. Лазарук, С. К. Лабунов, В. А. |
| Keywords: | доклады БГУИР;нанопористый кремний;окислитель;механический импульс |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Увеличение механического импульса в микроэлектромеханических системах, использующих энергию горения нанопористого кремния / А. В. Долбик [ и др.] // Доклады БГУИР. - 2015. - № 6 (92). - С. 90 - 93. |
| Abstract: | Процесс горения нанопористого кремния с межпоровым пространством, заполненным твердотельным окислителем, исследовался с целью его использования в качестве источника энергии для механического движения микроэлектромеханических систем с реактивной тягой. Исследования показали, что механический импульс микросистемы с кремниевым чипом площадью 1 см2 может быть увеличен до 130 мН с за счет увеличения объема нанопористого кремния, а также за счет увеличения массы несущей платформы. |
| Alternative abstract: | Nanostructured porous silicon impregnated by solid state oxidants has been studied in order to provide the mechanical impulse for jet-propulsion microsystems. The system with jet-propulsion movement on a silicon chip has been used for impulse measurements. The estimated impulse value is in the range of 25-130 mN·s by using of carrying platform for Si chips. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/5081 |
| Appears in Collections: | №6 (92) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dolbik_Uvelicheniye.PDF | 806.09 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.