https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50903| Title: | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок |
| Other Titles: | А. с. 653580 СССР |
| Authors: | Данилович, Н. И. Сокол, В. А. Костюченко, С. А. |
| Keywords: | патенты;микроэлектроника;устройства контроля;измерительная техника |
| Issue Date: | 1979 |
| Publisher: | Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий |
| Citation: | Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок : а. с. 653580 СССР : МПК G 01 R 27/02 / Н. И. Данилович, В. А. Сокол, С. А. Костюченко ; заявитель и патентообладатель Минский радиотехнический институт. – № 2481624/18-21 ; заявл. 03.05.1977 ; опубл. 25.03.1979 – 2 с. : ил. |
| Abstract: | Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для контроля сопротивления металлических пленок в процессе их формирования на рельефных подложках. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/50903 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Pat_653580.pdf | 150.17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.