https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209
Title: | Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий |
Authors: | Хамаде, Б. З. Котов, Д. А. |
Keywords: | материалы конференций;барьерные разряды;атмосферная плазма;нанесение покрытий |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Хамаде, Б. З. Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий / Б. З. Хамаде, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 185–187. |
Abstract: | В сообщении приводятся результаты аналитических исследований применения плазмы генерируемой при атмосферном давлении и ее видах разрядов для использования в микроэлектронике и нанотехнологиях. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209 |
Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Hamade_Tehnologiya.pdf | 575.28 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.