Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209
Title: Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий
Authors: Хамаде, Б. З.
Котов, Д. А.
Keywords: материалы конференций;барьерные разряды;атмосферная плазма;нанесение покрытий
Issue Date: 2023
Publisher: БГУИР
Citation: Хамаде, Б. З. Технология холодной атмосферной плазмы и ее применение для обработки поверхности и нанесения покрытий / Б. З. Хамаде, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 185–187.
Abstract: В сообщении приводятся результаты аналитических исследований применения плазмы генерируемой при атмосферном давлении и ее видах разрядов для использования в микроэлектронике и нанотехнологиях.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52209
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Hamade_Tehnologiya.pdf575.28 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.