Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52243
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШекелевский, В. В.-
dc.contributor.authorКотов, Д. А.-
dc.coverage.spatialМинскru_RU
dc.date.accessioned2023-06-23T08:28:02Z-
dc.date.available2023-06-23T08:28:02Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationШекелевский, В. В. Влияние рассеяния заряженных частиц на рабочем газе на профиль выработки мишени при магнетронном распылении = Influence of charged particle scattering on the working gas on the sputtering yield profile during magnetron sputtering / В. В. Шекелевский, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 144–146.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52243-
dc.description.abstractВ работе представлена методика для оценки влияния давления в рабочей зоне над поверхностью мишени магнетронной распылительной системы при использовании метода Монте-Карло для заряженных частиц. Проведены расчетные исследования процесса формирования профиля зоны эрозии мишени при разном давлении, а также проведена верификация расчетных и экспериментальных данных для магнетрона диаметром 80 мм с плоской мишенью, показывающая хорошую эффективность применяемого подхода.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectмагнетронное распылениеru_RU
dc.subjectметод Монте-Карлоru_RU
dc.subjectзаряженные частицыru_RU
dc.titleВлияние рассеяния заряженных частиц на рабочем газе на профиль выработки мишени при магнетронном распыленииru_RU
dc.title.alternativeInfluence of charged particle scattering on the working gas on the sputtering yield profile during magnetron sputteringru_RU
dc.typeArticleru_RU
local.description.annotationThe paper presents a technique for estimating the effect of pressure in the working zone above the target surface of a magnetron sputtering system using the Monte Carlo method for charged particles. Computational studies were conducted on the process of forming the erosion zone profile of the target at different pressures. The calculated and experimental data were also verified for an 80 mm diameter magnetron with a flat target, demonstrating the good efficiency of the approach used.ru_RU
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shekelevskii_Vliyanie.pdf504.39 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.