https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52243| Title: | Влияние рассеяния заряженных частиц на рабочем газе на профиль выработки мишени при магнетронном распылении |
| Other Titles: | Influence of charged particle scattering on the working gas on the sputtering yield profile during magnetron sputtering |
| Authors: | Шекелевский, В. В. Котов, Д. А. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронное распыление;метод Монте-Карло;заряженные частицы |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шекелевский, В. В. Влияние рассеяния заряженных частиц на рабочем газе на профиль выработки мишени при магнетронном распылении = Influence of charged particle scattering on the working gas on the sputtering yield profile during magnetron sputtering / В. В. Шекелевский, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 144–146. |
| Abstract: | В работе представлена методика для оценки влияния давления в рабочей зоне над поверхностью мишени магнетронной распылительной системы при использовании метода Монте-Карло для заряженных частиц. Проведены расчетные исследования процесса формирования профиля зоны эрозии мишени при разном давлении, а также проведена верификация расчетных и экспериментальных данных для магнетрона диаметром 80 мм с плоской мишенью, показывающая хорошую эффективность применяемого подхода. |
| Alternative abstract: | The paper presents a technique for estimating the effect of pressure in the working zone above the target surface of a magnetron sputtering system using the Monte Carlo method for charged particles. Computational studies were conducted on the process of forming the erosion zone profile of the target at different pressures. The calculated and experimental data were also verified for an 80 mm diameter magnetron with a flat target, demonstrating the good efficiency of the approach used. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52243 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Shekelevskii_Vliyanie.pdf | 504.39 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.