https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52247| Title: | Влияние внешнего магнитного поля в реакторе осаждения алмазоподобных углеродных покрытий на генерацию индуктивносвязанной плазмы |
| Other Titles: | Effect of an external magnetic field in a reactor for the deposition of diamond-like carbon coatings on the generation of an inductively coupled plasma |
| Authors: | Товт, П. Д. Леонович, Н. В. Котов, Д. А. |
| Keywords: | материалы конференций;углеродные покрытия;индукционные разряды;индуктивно-связанная плазма |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Товт, П. Д. Влияние внешнего магнитного поля в реакторе осаждения алмазоподобных углеродных покрытий на генерацию индуктивносвязанной плазмы = Effect of an external magnetic field in a reactor for the deposition of diamond-like carbon coatings on the generation of an inductively coupled plasma / П. Д. Товт, Н. В. Леонович, Д. А. Котов // Радиотехника и электроника : сборник материалов 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2023. – С. 154–156. |
| Abstract: | Разработан реактор химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы высокой плотности на основе источника индуктивно-связанной плазмы. Проведены исследования влияния аксиального магнитного поля и магнитного поля с нулевым контуром на рабочее давление источника индуктивно-связанной плазмы. При наличии аксиального магнитного поля величиной 0,7 мТл в рабочей камере удалось снизить рабочее давление «горения» индуктивно-связанной плазмы вплоть до 5·10-2 Па. |
| Alternative abstract: | A high-density plasma chemical vapor deposition reactor based on an inductively coupled plasma source has been developed. The influence of an axial magnetic field and a magnetic field with a zero loop on the working pressure of an inductively coupled plasma source has been studied. In the presence of an axial magnetic field of 0.7 mT in the working chamber, it was possible to reduce the working pressure of the "burning" of the inductively coupled plasma down to 5*10-2 Pa. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/52247 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 59-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2023) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tovt_Vliyanie.pdf | 460.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.