| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Ярмолик, В. И. | - |
| dc.contributor.author | Муравьев, А. С. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-01-05T07:17:04Z | - |
| dc.date.available | 2024-01-05T07:17:04Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Лаппо, А. И. Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий / А. И. Лаппо, В. И. Ярмолик, А. С. Муравьев // Информационные технологии и системы 2023 (ИТС 2023) = Information Technologies and Systems 2023 (ITS 2023) : материалы Международной научной конференции, Минск, 22 ноября 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск : БГУИР, 2023. – С. 187–188. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53994 | - |
| dc.description.abstract | В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине
с использованием лазерного луча движущегося по заданной траектории. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | кремниевые пластины | en_US |
| dc.subject | лазерное излучение | en_US |
| dc.subject | переходные отверстия | en_US |
| dc.title | Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | ИТС 2023
|
