https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53994| Title: | Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий |
| Authors: | Лаппо, А. И. Ярмолик, В. И. Муравьев, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;кремниевые пластины;лазерное излучение;переходные отверстия |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лаппо, А. И. Моделирование движения лазера по заданной траектории для процессов формирования переходных отверстий / А. И. Лаппо, В. И. Ярмолик, А. С. Муравьев // Информационные технологии и системы 2023 (ИТС 2023) = Information Technologies and Systems 2023 (ITS 2023) : материалы Международной научной конференции, Минск, 22 ноября 2023 / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск : БГУИР, 2023. – С. 187–188. |
| Abstract: | В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине с использованием лазерного луча движущегося по заданной траектории. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/53994 |
| Appears in Collections: | ИТС 2023 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lappo_Modelirovanie.pdf | 2.57 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.