Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54027
Title: Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом
Other Titles: Silicon wafer bonding by the glass-like sol-gel formed nanocomposite
Authors: Гайшун, В. Е.
Косенок, Я. А.
Васькевич, В. В.
Тюленкова, О. И.
Борисенко, В. Е.
Ковальчук, Н. С.
Петлицкий, А. Н.
Чумак, С. В.
Keywords: публикации ученых;стеклообразующие композиции;монокристаллический кремний;физические науки;математические науки
Issue Date: 2023
Publisher: Национальная академия наук Беларуси
Citation: Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом = Silicon wafer bonding by the glass-like sol-gel formed nanocomposite / В. Е. Гайшун [и др.] // Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-матэматычных навук. – 2023. – Т. 59, № 3. – С. 233–240.
Abstract: Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор –кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в техно- логических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин.
Alternative abstract: We have herein developed a glass-forming composition and the related sol-gel technology for bonding monocrystalline silicon wafers to produce «silicon–insulator–silicon» structures. A possibility to fabricate defect-free glass-like bonding layers at the annealing temperature decreased to 1000–1100 °C is demonstrated. The composites obtained by the sol-gel method can be used in technological processes of formation of the solid compound of silicon wafers.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54027
DOI: DOI: 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Gajshun_Soedineniya.pdf3.14 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.