https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54027
Title: | Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом |
Other Titles: | Silicon wafer bonding by the glass-like sol-gel formed nanocomposite |
Authors: | Гайшун, В. Е. Косенок, Я. А. Васькевич, В. В. Тюленкова, О. И. Борисенко, В. Е. Ковальчук, Н. С. Петлицкий, А. Н. Чумак, С. В. |
Keywords: | публикации ученых;стеклообразующие композиции;монокристаллический кремний;физические науки;математические науки |
Issue Date: | 2023 |
Publisher: | Национальная академия наук Беларуси |
Citation: | Соединение пластин кремния стеклообразным нанокомпозитом, формируемым золь-гель методом = Silicon wafer bonding by the glass-like sol-gel formed nanocomposite / В. Е. Гайшун [и др.] // Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-матэматычных навук. – 2023. – Т. 59, № 3. – С. 233–240. |
Abstract: | Разработан состав стеклообразующей композиции и лабораторная золь-гель технология соединения с ее помощью пластин монокристаллического кремния для создания структур «кремний – изолятор –кремний». Показана возможность снижения температуры формирования качественного соединительного слоя до 1000–1100 °С. Полученные с применением разработанного золь-гель метода стеклокомпозиции могут быть использованы в техно- логических процессах, требующих формирования неразъемных соединений кремниевых пластин. |
Alternative abstract: | We have herein developed a glass-forming composition and the related sol-gel technology for bonding monocrystalline silicon wafers to produce «silicon–insulator–silicon» structures. A possibility to fabricate defect-free glass-like bonding layers at the annealing temperature decreased to 1000–1100 °C is demonstrated. The composites obtained by the sol-gel method can be used in technological processes of formation of the solid compound of silicon wafers. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54027 |
DOI: | DOI: 10.29235/1561-2430-2023-59-3-233-240 |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Gajshun_Soedineniya.pdf | 3.14 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.