| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Соколов, С. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2024-02-15T08:33:50Z | - |
| dc.date.available | 2024-02-15T08:33:50Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Соколов, С. И. Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С. И. Соколов ; науч. рук. В. А. Eмельянов. – Минск : БГУИР, 2023. – 23 с. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54275 | - |
| dc.description.abstract | Целью диссертационного исследования является разработка в рамках
теории термоупругости и теплопроводности моделей процессов лазерной двухлучевой обработки кристаллического кварца и кварцевого стекла, установление
закономерностей лазерного раскалывания кварцевого стекла и кристаллического кварца, используемых при изготовлении подложек фотошаблонов и
кварцевых резонаторов, создание технологии двухлучевой лазерной очистки
кварцевого сырья для получения кварцевых фотошаблонов с улучшенными
эксплуатационными характеристиками. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | en_US |
| dc.subject | лазерное излучение | en_US |
| dc.subject | интегральные микросхемы | en_US |
| dc.subject | кварц | en_US |
| dc.title | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем | en_US |
| dc.type | Thesis | en_US |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
