| Title: | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем |
| Authors: | Соколов, С. И. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;лазерное излучение;интегральные микросхемы;кварц |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Соколов, С. И. Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.27.06 / С. И. Соколов ; науч. рук. В. А. Eмельянов. – Минск : БГУИР, 2023. – 23 с. |
| Abstract: | Целью диссертационного исследования является разработка в рамках
теории термоупругости и теплопроводности моделей процессов лазерной двухлучевой обработки кристаллического кварца и кварцевого стекла, установление
закономерностей лазерного раскалывания кварцевого стекла и кристаллического кварца, используемых при изготовлении подложек фотошаблонов и
кварцевых резонаторов, создание технологии двухлучевой лазерной очистки
кварцевого сырья для получения кварцевых фотошаблонов с улучшенными
эксплуатационными характеристиками. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/54275 |
| Appears in Collections: | 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
