https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56245| Title: | Изолированные токопроводящие каналы на подложках из анодного оксида алюминия |
| Authors: | Якушев, A. B. Ревенько, Д. В. Биран, С. А. Короткевич, A. B. |
| Keywords: | материалы конференций;композиционные наноструктуры;анодный оксид алюминия;защита информации |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Изолированные токопроводящие каналы на подложках из анодного оксида алюминия / A. B. Якушев [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХXII Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 12 июня 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Т. В. Борботько [и др.]. – Минск, 2024. – С. 99. |
| Abstract: | Композиционные наноструктуры из анодного оксида алюминия можно использовать для формирования межслойного вертикального электрического соединения различных слоев без дополнительных операций формирования отверстий в межслойной изоляции, что позволяет получать на поверхности последующие слои с хорошей планаризацией, для формирования различных устройств, используемых в системах защиты информации. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/56245 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2024 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| YAkushev_Izolirovannye.pdf | 93.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.