| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Воротницкая, М. В. | - |
| dc.contributor.author | Ярмолик, В. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-01-10T07:48:19Z | - |
| dc.date.available | 2025-01-10T07:48:19Z | - |
| dc.date.issued | 2024 | - |
| dc.identifier.citation | Лаппо, А. И. Моделирование лазерного нагрева для оптимизации процессов формирования переходных отверстий / А. И. Лаппо, М. В. Воротницкая, В. И. Ярмолик // Информационные технологии и системы 2024 (ИТС 2024) = Information Technologies and Systems 2024 (ITS 2024) : материалы международной научной конференции, Минск, 20 ноября 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2024. – С. 167–168. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58643 | - |
| dc.description.abstract | В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине
с использованием лазерного нагрева. Выполнено моделирование лазерного нагрева для выбора оптимальных
параметров для получения отверстия в кремниевой пластине необходимой для формирование контактных
соединений между компонентами 3D-модуля. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | кремниевые пластины | en_US |
| dc.subject | лазерное излучение | en_US |
| dc.subject | 3D-модели | en_US |
| dc.title | Моделирование лазерного нагрева для оптимизации процессов формирования переходных отверстий | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| Appears in Collections: | ИТС 2024
|
