https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58643| Title: | Моделирование лазерного нагрева для оптимизации процессов формирования переходных отверстий |
| Authors: | Лаппо, А. И. Воротницкая, М. В. Ярмолик, В. И. |
| Keywords: | материалы конференций;кремниевые пластины;лазерное излучение;3D-модели |
| Issue Date: | 2024 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лаппо, А. И. Моделирование лазерного нагрева для оптимизации процессов формирования переходных отверстий / А. И. Лаппо, М. В. Воротницкая, В. И. Ярмолик // Информационные технологии и системы 2024 (ИТС 2024) = Information Technologies and Systems 2024 (ITS 2024) : материалы международной научной конференции, Минск, 20 ноября 2024 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2024. – С. 167–168. |
| Abstract: | В данной статье рассматривается проблема формирования переходных отверстий в кремниевой пластине с использованием лазерного нагрева. Выполнено моделирование лазерного нагрева для выбора оптимальных параметров для получения отверстия в кремниевой пластине необходимой для формирование контактных соединений между компонентами 3D-модуля. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58643 |
| Appears in Collections: | ИТС 2024 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lappo_Modelirovanie.pdf | 468.38 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.