| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Цаладонов, А. Д. | - |
| dc.contributor.author | Биран, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | en_US |
| dc.date.accessioned | 2025-04-15T08:03:52Z | - |
| dc.date.available | 2025-04-15T08:03:52Z | - |
| dc.date.issued | 2025 | - |
| dc.identifier.citation | Цаладонов, А. Д. Чувствительные мембранные элементы на основе пленок пористого оксида алюминия = Sensitive membrane elements based on porous aluminum oxide films / А. Д. Цаладонов, С. А. Биран, А. В. Короткевич // Технические средства защиты информации : материалы ХXIII Международной научно-технической конференции, Минск, 08 апреля 2025 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники [и др.] ; редкол.: О. В. Бойправ [и др.]. – Минск, 2025. – С. 351–355. | en_US |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/59518 | - |
| dc.description.abstract | В данной работе рассмотрены перспективы применения пленок пористого анодного оксида алюминия для изготовления МЭМС на его основе. Проведены исследования коэффициента использования алюминия в процессе анодирования на алюминиевых подложках различного состава. Предложены методы для уменьшения бокового роста анодного оксида алюминия в процессе локального анодирования. | en_US |
| dc.language.iso | ru | en_US |
| dc.publisher | БГУИР | en_US |
| dc.subject | материалы конференций | en_US |
| dc.subject | защита информации | en_US |
| dc.subject | пористый оксид алюминия | en_US |
| dc.subject | анодирование | en_US |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | en_US |
| dc.subject | МЭМС | en_US |
| dc.title | Чувствительные мембранные элементы на основе пленок пористого оксида алюминия | en_US |
| dc.title.alternative | Sensitive membrane elements based on porous aluminum oxide films | en_US |
| dc.type | Article | en_US |
| local.description.annotation | This work explores the prospects of using porous anodic aluminum oxide (AAO) films for the fabrication of AAO-based MEMS. Studies were conducted on the aluminum utilization coefficient during anodization on aluminum substrates of varying composition. Methods for reducing lateral growth of anodic aluminum oxide during localized anodization are proposed. | en_US |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2025
|
