Чувствительные мембранные элементы на основе пленок пористого оксида алюминия

Цаладонов, А. Д.; Биран, С. А.; Короткевич, А. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/59518

Title:	Чувствительные мембранные элементы на основе пленок пористого оксида алюминия
Other Titles:	Sensitive membrane elements based on porous aluminum oxide films
Authors:	Цаладонов, А. Д. Биран, С. А. Короткевич, А. В.
Keywords:	материалы конференций;защита информации;пористый оксид алюминия;анодирование;микроэлектромеханические системы;МЭМС
Issue Date:	2025
Publisher:	БГУИР
Citation:	Цаладонов, А. Д. Чувствительные мембранные элементы на основе пленок пористого оксида алюминия = Sensitive membrane elements based on porous aluminum oxide films / А. Д. Цаладонов, С. А. Биран, А. В. Короткевич // Технические средства защиты информации : материалы ХXIII Международной научно-технической конференции, Минск, 08 апреля 2025 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники [и др.] ; редкол.: О. В. Бойправ [и др.]. – Минск, 2025. – С. 351–355.
Abstract:	В данной работе рассмотрены перспективы применения пленок пористого анодного оксида алюминия для изготовления МЭМС на его основе. Проведены исследования коэффициента использования алюминия в процессе анодирования на алюминиевых подложках различного состава. Предложены методы для уменьшения бокового роста анодного оксида алюминия в процессе локального анодирования.
Alternative abstract:	This work explores the prospects of using porous anodic aluminum oxide (AAO) films for the fabrication of AAO-based MEMS. Studies were conducted on the aluminum utilization coefficient during anodization on aluminum substrates of varying composition. Methods for reducing lateral growth of anodic aluminum oxide during localized anodization are proposed.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/59518
Appears in Collections:	ТСЗИ 2025

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Caladonov_CHuvstvitelnye.pdf		503.59 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar