Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7438
| Title: | Метод компенсации погрешности совмещения при контроле топологии планарных структур |
| Authors: | Титко, Д. С. |
| Keywords: | материалы конференций;фотошаблоны СБИС |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Титко, Д. С. Метод компенсации погрешности совмещения при контроле топологии планарных структур / Д. С. Титко // Компьютерные системы и сети : материалы 51-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов. (Минск, 13 - 17 апреля 2015 года). – Минск : БГУИР, 2015. – С. 118 - 119. |
| Abstract: | Компенсация погрешности рассогласования координатной системы установки автоматического контроля топологии планарных структур и координатной системы оригиналов топологии является важнейшей процедурой в процессе
выполнения ориентации фотошаблона. Для реализации этого процесса предложен метод компенсации на основе набора поправок с учетом шага мультипликации реперных знаков. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7438 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 51-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2015)
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
