https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7613| Title: | Разработать технологические процессы формирования нанопористых модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии: отчет о НИР (заключ.) |
| Authors: | Горох, Г. Г. Соловей, Д. В. Сурганов, А. В. Семеняков, Л. В. Шиманович, Д. Л. Захлебаева, А. И. |
| Keywords: | отчеты о НИР;нанопористые подложки;анодный оксид алюминия;нанопористые мембраны;химические сенсоры;МЭМС-технология |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Разработать технологические процессы формирования нанопористых модифицированных тонких пленок, мембран и подложек из анодного оксида алюминия для высокочувствительных химических сенсоров и гироскопических сенсоров угловых скоростей, изготавливаемых с использованием МЭМС-технологии(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель Г.Г. Горох ; отв. исполнитель Д.В. Соловей . – Минск, 2013. – 65 с. - № ГР 20100047 |
| Series/Report no.: | ГБ № 09-1233Б; |
| Abstract: | Разработаны научные основы технологии изготовления анодированных алюминиевых подложек с заданными структурными параметрами. Исследованы методы формирования профилированных анодированных подложек и разработаны методы создания тонких нанопористых мембран в анодированных алюминиевых подложках. |
| Gov't Doc #: | № ГР 20100047 |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7613 |
| Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2013 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| № ГР 20100047 (09-1233Б)_Рук_НИР_Горох.pdf Restricted Access | 7.59 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.