https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7652
Title: | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) |
Authors: | Баранов, И. Л. Котов, Д. А. Ясюнас, А. А. Комар, О. М. Корзун, К. А. |
Keywords: | отчеты о НИР;силилирование;глубокий субмикрон;фоторезистивная маска;фоторезист;плазмохимическое травление |
Issue Date: | 2013 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона(заключительный) : отчет о НИР / БГУИР; научный руководитель И.Л.Баранов ; отв. исполнитель Д.А.Котов . – Минск, 2013. – 41 с. - № ГР 20113872 |
Series/Report no.: | ГБЦ 11-3126; |
Abstract: | В процессе работы проводились экспериментальные исследования по выбору технологии химического усиления фоторезистивного материала, применяемого при формировании устойчивой к плазменной обработке маски. А также проводились работы по исследованию процесса плазмохимического травления химически усиленных фоторезистивных покрытий. |
Gov't Doc #: | № ГР 20113872 |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7652 |
Appears in Collections: | Отчеты о НИР 2013 |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
№ ГР 20113872 (11-3126)_Рук_НИР_Баранов.pdf Restricted Access | 2.28 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.