https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7671| Title: | Блочно-модульное построение систем перемещений спецтехнологического оборудования микроэлектроники |
| Authors: | Поляковский, В. В. Бегун, Д. Г. Нестеренко, В. Н. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектроника;блочно-модульное построение |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Поляковский, В. В. Блочно-модульное построение систем перемещений спецтехнологического оборудования микроэлектроники / В. В. Поляковский, Д. Г. Бегун, В. Н. Нестеренко // Компьютерные системы и сети : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 24–28 марта 2014 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Прытков [и др.]. – Минск, 2014. – С. 70–71. |
| Abstract: | Представлен блочно-модульный принцип построения многокоординатных систем перемещений для спецтехнологического оборудования микроэлектроники на основе их компоновки из базовых однокоординатных и двухкоординатных модулей на дискретном приводе прямого действия. В результате достигается широкое варьирование параметров движения при выполнении технологических операций. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/7671 |
| Appears in Collections: | Компьютерные системы и сети : материалы 50-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2014) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.