Browsing by Author Петров, Н. П.
Showing results 1 to 4 of 4
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 1996 | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции | Лыньков, Л. М.; Жданович, С. В.; Петров, Н. П.; Прудник, А. М.; Богуш, В. А. |
| 1996 | Применение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем | Лыньков, Л. М.; Жданович, С. В.; Петров, Н. П.; Богуш, В. А. |
| 1998 | Способ обратной литографии | Лыньков, Л. М.; Жданович, С. В.; Петров, Н. П.; Прудник, А. М.; Богуш, В. А. |
| 2004 | Способ создания конфигурации тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников | Лыньков, Л. М.; Петров, Н. П.; Болдышева, И. П. |
