Skip navigation

Browsing by Author Сакова, А. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 8 of 8
Issue DateTitleAuthor(s)
2015Разработка LIGA-подобной технологии формирования вертикальных металлических контактов к массивам углеродных нанотрубок : отчет о НИР (заключ.)Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю.
2014Разработка научных основ и технологии формирования полимерных и металлических микроструктур с высоким аспектным соотношением для создания элементов и сенсоров микроэлектромеханических систем : отчет о НИР (заключ.)Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю.
2015Разработка технологии прецизионных трехмерных структур на основе градиентной литографии сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и электрохимического осаждения для технологий массового производства микроэлементов : отчет о НИР (заключ.)Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю.
2014Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.)Тимошков, Ю. В.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю.
2011Создание конструктивно-технологических основ элементной базы 3d механических устройств микро- и наносистем : отчет о НИР (заключ.)Тимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.
2014Технологии формирования наноразмерных структур для применения в дисплейных и оптических устройствахТимошков, Ю. В.; Курмашев, В. И.; Сакова, А. А.; Тимошков, В. Ю.
2014Устройство для определения местоположения подвижного микрообъектаТимошков, Ю. В.; Тимошков, В. Ю.; Сакова, А. А.; Курмашев, В. И.
2013Философские проблемы и социальные последствия развития нанотехнологийБрылева, О. А.; Сакова, А. А.