Issue Date | Title | Author(s) |
2018 | Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда | Ковалевский, А. А.; Котов, Д. А.; Корзун, К. А.; Ясюнас, А. А.; Гранько, С. В. |
2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспони-рованных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
2013 | Исследование процессов плазменного проявления и удаления экспонированных лазером фоточувствительных материалов для разработки и освоения новой передовой технологии – вакуумной фотолитографии глубокого субмикрона: отчет о НИР (заключ.) | Баранов, И. Л.; Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Корзун, К. А. |
2010 | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС | Ясюнас, А. А.; Тымощик, А. С.; Ковальчук, Н. В.; Котов, Д. А. |
2014 | Разработка и исследование магнитных систем источников ионов, источников плазмы и магнетронных распылительных устройств : отчет о НИР (заключ.) | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Комар, О. М.; Роговский, Е. П.; Савич, В. А. |
2012 | Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.) | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М. |
2015 | Разработка технологического комплекса и технологии формирования наноструктурированного диоксида кремния с применением плазмы высокой плотности : отчет о НИР (заключ.) | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А. |
2020 | Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие | Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С. |
2020 | Технология и особенности построения оборудования для формирования наноструктурированных гидрофобных и износостойких оптических покрытий для видимого спектрального диапазона | Ясюнас, А. А. |