https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30862| Title: | Пленки поликристаллического кремния с полусферическими зернами |
| Other Titles: | Polycrystalline silicon films with hemispherical grains |
| Authors: | Турцевич, А. С. Ануфриев, Л. П. Наливайко, О. Ю. Лесникова, В. П. |
| Keywords: | доклады БГУИР;интеллектуальные права;программное обеспечение;водяной знак |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Пленки поликристаллического кремния с полусферическими зернами / А. С. Турцевич и другие // Доклады БГУИР. - 2005.- № 1 (9). - С. 87 - 92. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния условий получения пленок кремния на его структуру и мор- фологию. Установлено, что в узких диапазонах температуры осаждения и парциального дав- ления моносилана наблюдается осаждение аморфно-кристаллических пленок с кристаллитами полусферической формы. Предложен механизм, объясняющий полученные результаты. Пока- зано, что использование пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами в качестве нижней обкладки конденсатора позволяет увеличить эффективную площадь кон- денсатора хранения ДОЗУ в 1,5–2,0 раза. Причем применение таких пленок возможно в стеко- вых, этажерочных конденсаторах и конденсаторах в виде простой и сложной короны. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30862 |
| Appears in Collections: | №1 (9) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Turtsevich_Polycrystalline.pdf | 891.21 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.