Issue Date | Title | Author(s) |
2015 | Автофокусировка в установках автоматического контроля дефектов топологического рисунка фотошаблонов и полупроводниковых пластин | Аваков, С. М.; Безлюдов, А. В.; Гайков, Н. И.; Ланин, В. Л.; Огер, В. П.; Титко, Д. С.; Трапашко, Г. А. |
2020 | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Голосов, Д. А.; Емельянов, В. В.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Никитюк, Ю. В.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Пилипенко, В. А.; Плебанович, В. И.; Солодуха, В. А.; Соколов, С. И.; Телеш, Е. В.; Шершнев, Е. Б. |
2007 | Компьютерное моделирование системы управления планарным приводом прямого действия | Агранович, А. А.; Жарский, В. В.; Огер, В. П.; Аваков, С. М. |
2012 | Координатные системы высокого разрешения на основе электропривода прямого действия. Лабораторный практикум : пособие | Аваков, С. М.; Огер, В. П.; Жарский, В. В.; Русецкий, А. М.; Гуревич, О. В. |
2016 | Корреляционный алгоритм совмещения кадров при построении полного изображения | Аваков, С. М.; Воронов, А. А. |
2007 | Методика определения способности обнаружения изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах методом сравнения с проектными данными | Аваков, С. М. |
2002 | Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении | Аваков, С. М. |
2021 | Обобщенная архитектура программного комплекса управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения | Аваков, С. М.; Дудкин, А. А.; Воронов, А. А.; Ганченко, В. В.; Рымко, В. М.; Шоломицкий, В. Г. |
2018 | Основы теории систем автоматического управления : пособие | Аваков, С. М.; Огер, В. П.; Гуревич, О. В. |
2017 | Поиск объектов топологии микросхем на изображениях слоев топологии СБИС | Аваков, С. М.; Воронов, А. А.; Дедков, А. И.; Питкин, А. Б.; Титко, Д. С.; Шоломицкий, В. Г. |
2013 | Прикладные задачи по высшей математике: аналит. геометрия : учебно-метод. пособие | Карпович, С. Е.; Дайняк, И. В.; Жарский, В. В.; Литвинов, Е. А.; Аваков, С. М.; Огер, В. П. |
2018 | Программный комплекс управления оборудованием контроля критических размеров на базе систем машинного зрения | Аваков, С. М.; Воронов, А. А.; Ганченко, В. В.; Дудкин, А. А.; Дедков, А. И.; Шоломицкий, В. Г. |
2007 | Система перемещений для оптико-механического оборудования микроэлектроники | Агранович, А. А.; Аваков, С. М.; Жарский, В. В. |
2018 | Системы управления электронно-оптическими комплексами. Лабораторный практикум : пособие | Аваков, С. М.; Огер, В. П.; Гуревич, О. В.; Костюкевич, А. А. |
2016 | Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Агеев, О. А.; Батура, М. П.; Бордусов, С. В.; Джуплин, В. Н.; Завадский, С. М.; Клим, О. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Петухов, И. Б.; Ретюхин, Г. Е.; Русецкий, А. М.; Титко, Д. С.; Томаль, В. С; Трапашко, Г. А.; Чередниченко, С. Б; Школык, Д. И. |