Issue Date | Title | Author(s) |
2020 | Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Голосов, Д. А.; Емельянов, В. В.; Завадский, С. М.; Колос, В. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Мельников, С. Н.; Никитюк, Ю. В.; Петлицкий, А. Н.; Петухов, И. Б.; Пилипенко, В. А.; Плебанович, В. И.; Солодуха, В. А.; Соколов, С. И.; Телеш, Е. В.; Шершнев, Е. Б. |
2017 | Методы комбинированной защиты речевой информации | Емельянов, В. В.; Нияковский, А. А. |
2022 | Многослойные системы металлизации субмикронных интегральных схем | Емельянов, В. В. |
2020 | Многослойные токопроводящие пленки полупроводниковых приборов и интегральных микросхем | Емельянов, В. А.; Баранов, В. В.; Емельянов, В. В.; Emelyanov, V. A.; Baranov, V. V.; Emelyanov, V. V. |
2023 | Пассивация токопроводящей системы интегральных схем слоем нитрида алюминия | Емельянов, В. В. |
2019 | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния | Емельянов, В. В. |
2019 | Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния | Емельянов, В. В.; Бордусов, С. В. |
2018 | Технология плазмохимического травления нитрида кремния при создании изоляции LOCOS для полупроводниковых приборов субмикронных проектных норм | Емельянов, В. В. |
2020 | Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | Емельянов, В. В. |
2021 | Технология селективного реактивно-ионного травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию | Емельянов, В. В. |
2022 | Формирование функциональных слоев нитрида кремния селективным плазмохимическим травлением | Емельянов, В. В. |
2021 | Формирование стабильной дефектной структуры в кремениевых диодах генераторах шума | Емельянов, В. В.; Емельянов, В. А.; Баранов, В. В.; Буслюк, В. В. |
2022 | Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлением | Емельянов, В. В. |