Issue Date | Title | Author(s) |
2021 | Влияние отжига на структурно-фазовые и электрофизические свойства пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В. |
2020 | Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия | Голосов, Д. А.; Окс, Е. М.; Бурдовицин, В. А.; Нгуен, Т. Д.; Мельников, С. Н.; Завадский, С. М.; Поболь, И. Л.; Кананович, Н. А.; Тиан, К.; Лам, Н. Н. |
2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2023 | Модель процесса реактивного магнетронного распыления двухкомпонентной составной мишени | Доан, Х. Т.; Голосов, Д. А.; Джанг, Дж.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д. |
2021 | Структурно-фазовые характеристики пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В.; То, Т. К. |
2021 | Формирование и исследование характеристик терморезистивных структур на основе пленок оксида ванадия | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В.; Толочко, Н. К. |
2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Нгуен, Т. Д.; Голосов, А. Д. |
2019 | Формирование пленок оксида титана методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д. А.; Нгуен, Т. Д. |
2020 | Электрофизические свойства пленок оксида ванадия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Нгуен, Т. Д.; Занько, А. И.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.; Мельников, С. Н.; Колос, В. В. |