Issue Date | Title | Author(s) |
2021 | Анализ геометрических параметров контактов кремниевой подложки и алюминиевой шины в интегральных микросхемах (ИМС) с использованием микроскопа с фокусированным ионным пучком | Кабак, Т. В.; Петлицкая, Т. В. |
2017 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Шабалина, С. В.; Устименко, Д. С. |
2018 | Анализ дефектов интегральных схем с использованием растро-вого электронного микроскопа в режиме наведенного тока | Солодуха ., В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Чигирь, Г. Г.; Пилипенко, В. А.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В.; Уситименко, Д. С. |
2016 | Анализ причин неработоспособности кристаллов Ethernet контроллера 1990ВГ3Т | Троицкий, В. Ю.; Орешков, М. В.; Захарченко, А. А.; Трепалин, А. П.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А. |
2008 | Влияние процесса оплавления легкоплавких стекол на их зарядовые свойства и перераспределение примеси в ионно-легированных слоях | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2017 | Влияние быстрой термообработки на оптические параметры кремния | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А.; Жигулин, Д. В.; Петлицкая, Т. В.; Соловьев, Я. А. |
2009 | Влияние лазерного геттерирования на параметры биполярных интегральных микросхем | Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Понарядов, В. В.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2021 | Выявление дефектов интегральной микросхемы (ИМС) посредством ионно-лучевого травления | Кабак, Т. В.; Петлицкая, Т. В. |
2016 | Использование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Шведов, С. В.; Панфиленко, А. К.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Жигулин, Д. В. |
2006 | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом | Джилавдари, И. З.; Емельянов, В. А.; Пилипенко, В. А.; Петлицкая, Т. В. |
2020 | Конденсаторные структуры на основе пленок титаната бария, сформированных золь-гель методом | Холов, П. А.; Гапоненко, Н. В.; Шейдакова, К. В.; Крымский, В. И.; Филипеня, В. А.; Петлицкая, Т. В.; Колос, В. В.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкий, А. Н. |
2018 | М – фактор как критерий качества технологического процесса изготовления полупроводниковых структур | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
2003 | МОП - конденсаторы интегральных схем на основе пентаоксида тантала | Петлицкая, Т. В. |
2003 | МОП-конденсаторы повышенной емкости для субмикронных СБИС | Петлицкая, Т. В. |
2018 | Оперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем | Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.; Чигирь, Г. Г.; Петлицкий, А. Н.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Петлицкая, Т. В.; Филипеня, В. А.; Солодуха, В. А. |
2010 | Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Шведов, В. С.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
2006 | Оценка упругого натяжения поверхности материалов маятниковым методом | Джилавдари, И. З.; Пилипенко, В. А.; Какошко, Е. Ю.; Петлицкая, Т. В. |
2018 | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" | Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С. |
2007 | Установка лазерного геттерирования кремниевых пластин | Вечер, Д. В.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |