| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2017 | Базовые технологические операции фотолитографии и оборудование для их реализации : учебно-методическое пособие | Родионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И.; Ковальчук, Н. С. |
| 2007 | Базовые технологические процессы интегральных схем : метод. указания и контр. задания по дисц. «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Базовые технологические процессы интегральных схем») для студ. спец. I-42 01 02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» заоч. и дист. форм обуч. | Родионов, Ю. А. |
| 2011 | Базовые технологические процессы изготовления интегральных схем и микроэлектромеханических систем. Лаб. практикум : учебно - метод. пособие | Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А. |
| 2010 | Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишени | Кирия, Л. Т.; Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А. |
| 2019 | Микроэлектронные датчики и сенсорные устройства : учеб. пособие | Родионов, Ю. А. |
| 2012 | Разработка источника плазмы высокой плотности на основе индуктивно-связанного разряда и постановка технологии плазмохимического травления для формирования топологии кристаллов изделий силовой электроники : отчет о НИР (заключ.) | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А.; Комар, О. М. |
| 2017 | Специфика преподавания инженерных дисциплин по микросенсорике | Родионов, Ю. А.; Котов, Д. А.; Плебанович, В. И. |
| 1975 | Способ получения многослойных защитных покрытий | Родионов, Ю. А.; Финкельштейн, Л. М.; Игнатенко, А. С.; Боброва, З. А.; Коновалов, Е. Г. |
| 2020 | Технологические процессы осаждения и травления в технологии изготовления ИМС и МЭМС : учебно-методическое пособие | Котов, Д. А.; Родионов, Ю. А.; Ясюнас, А. А.; Ковальчук, Н. С. |
