Issue Date | Title | Author(s) |
2014 | Автоматическое оборудование контроля топологии фотошаблонов | Титко, Е. А.; Титко, Д. С. |
2015 | Автофокусировка в установках автоматического контроля дефектов топологического рисунка фотошаблонов и полупроводниковых пластин | Аваков, С. М.; Безлюдов, А. В.; Гайков, Н. И.; Ланин, В. Л.; Огер, В. П.; Титко, Д. С.; Трапашко, Г. А. |
2014 | Алгоритм выбора метода автоматического контроля топологии планарных структур | Титко, Д. С.; Титко, Е. А.; Дайняк, И. В. |
2017 | Дистанционное лабораторное исследование системы перемещеинй на линейных шаговых двигателях | Титко, Д. С.; Кузнецов, В. В.; Марко, А. Ф.; Салманзадех, Г. Й. |
2014 | Математическая модель формирования сетки дискретности высокого разрешения для системы перемещений на линейном шаговом приводе | Дайняк, И. В.; Карпович, С. Е.; Огер, В. П.; Безлюдов, А. В.; Титко, Д. С. |
2017 | Метод автоматизированного контроля топологии планарных структур | Титко, Д. С. |
2017 | Метод компенсации погрешностей ассовмещения реального и эталонного объектов | Титко, Д. С. |
2015 | Метод компенсации погрешности совмещения при контроле топологии планарных структур | Титко, Д. С. |
2016 | Методика анализа обнаружительной способности автоматического контроля топологии планарных структур СБИС | Титко, Д. С. |
2019 | Механизм параллельной кинематики с шестью степенями свободы | Карпович, С. Е.; Кузнецов, В. В.; Марко, А. Ф.; Чеушев, К. В.; Нестеренко, В. Н.; Титко, Д. С. |
2016 | Обнаружительная способность для автоматического контроля топологии | Титко, Д. С. |
2020 | Подходы к построению систем управления электромеханическими приводами в реальном времени | Дайняк, И. В.; Титко, Д. С.; Дедков, А. И. |
2017 | Поиск объектов топологии микросхем на изображениях слоев топологии СБИС | Аваков, С. М.; Воронов, А. А.; Дедков, А. И.; Питкин, А. Б.; Титко, Д. С.; Шоломицкий, В. Г. |
2016 | Пространственная система перемещений на многокоординатном синхронном приводе | Титко, Д. С.; Кузнецов, В. В. |
2018 | Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии | Титко, Д. С.; Салманзадех, Г. Й.; Марко, А. Ф. |
2017 | Системы многокоординатных перемещений на механизмах параллельной кинематики : монография | Карпович, С. Е.; Жарский, В. В.; Межинский, Ю. С.; Дайняк, И. В.; Поляковский, В. В.; Кузнецов, В. В.; Титко, Д. С.; Форутан, М. М. |
2016 | Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники | Достанко, А. П.; Аваков, С. М.; Агеев, О. А.; Батура, М. П.; Бордусов, С. В.; Джуплин, В. Н.; Завадский, С. М.; Клим, О. В.; Ланин, В. Л.; Мадвейко, С. И.; Голосов, Д. А.; Мельников, С. Н.; Петухов, И. Б.; Ретюхин, Г. Е.; Русецкий, А. М.; Титко, Д. С.; Томаль, В. С; Трапашко, Г. А.; Чередниченко, С. Б; Школык, Д. И. |
2014 | Формирование оптимальных уровней квантования управляющих токов для линейного шагового привода прецизионных систем перемещений | Дайняк, И. В.; Огер, В. П.; Титко, Д. С.; Бегун, Д. Г. |
2013 | Шаговый двигатель | Карпович, С. Е.; Дайняк, И. В.; Поляковский, В. В.; Литвинов, Е. А.; Жарский, В. В.; Бегун, Д. Г.; Кекиш, Н. И.; Титко, Е. А.; Титко, Д. С. |
2018 | Электродвигатель мотор-колеса | Карпович, С. Е.; Дайняк, И. В.; Жарский, В. В.; Поляковский, В. В.; Титко, Д. С. |